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等离子体工艺腔室仿真平台研发成功

发布时间:2026-01-22 17:51:05 人气:

  

等离子体工艺腔室仿真平台研发成功(图1)

  原子级制造是推进新型工业化的核心“根技术”,然而却一直面临技术瓶颈。记者18日从工艺腔室仿真平台(MAPS)。该平台可在虚拟世界中复现真实的制造过程,以实现产品的提前研发和性能预判。

  大连理工大学集成电路学院党委书记、博士生导师高飞介绍,MAPS可以针对产业界的原子级制造装备进行全方位仿真,包括外控参数、装置几何结构,并将给出最终演化结果,从而节省整个部件研发时间,提高研发效率。团队依托大连理工大学学科优势,展开了多年技术攻关、数万次等离子体实验测试。目前,该技术已应用于拓荆科技、华为等多家企业,较国外同类型产品节约经济成本15%、节约时间成本20%。

  大连理工大学国家重点学科等离子体物理学科教授张钰如说:“团队和国内许多头部企业都开展了深入合作,建立了校企联合实验室,这意味着学生在校期间就可以深入企业参与联合技术攻关项目,这一模式将为相关产业培养出更多的高精尖紧缺人才。”

  目前,辽宁省将原子级制造纳入未来产业重点方向,依托重点实验室群等载体,组织开展原子级制造技术专题路演推介等活动。辽宁省科学技术厅副厅长许爱东表示:“辽宁省设立了未来产业的科技计划,围绕原子级制造、量子科技、具身智能等方向开展基础研究和前沿攻关,将努力形成一批助力产业发展的‘根技术’加快实现‘换道超车’。”返回搜狐,查看更多

标签:仿真科技
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