的等离子体工艺腔室仿真平台（MAPS），在虚拟世界中复现真实的制造过程，以实现产品的提前研发和性能预判。大连理工大学集成电路学院党委书记、博士生导师高飞介绍，MAPS可以针对产业界的原子级制造装备进行全方位仿真，包括外控参数、装置几何结构，MAPS将给出最终演化结果，从而节省整个部件研发时间，提高研发效率。依托大连理工大学学科优势，经过多年技术攻关、数万次等离子体实验测试后，目前该技术已应用于、华为等多家集成电路装备企业，较国外同类型产品节约经济成本15%、节约时间成本20%。

　　大连理工大学国家重点学科等离子体物理学科教授张钰如说：“团队和国内许多头部企业都开展深入合作，建立了校企联合实验室，这意味着学生在校期间就可以深入企业参与联合技术攻关项目，这一模式为相关产业培养更多高精尖紧缺人才。”目前，辽宁省将原子级制造纳入未来产业重点方向，依托重点实验室群等载体，组织开展原子级制造技术专题路演推介等活动。辽宁省科学技术厅副厅长许爱东表示：“辽宁省设立了未来产业的科技计划，围绕原子级制造、量子科技

　　、具身智能等方向开展基础研究和前沿攻关，将努力形成一批助力产业发展的‘根技术’加快实现‘换道超车’。”